2月6日上午，上海集成電路材料研究院（“集材院”）在上海化學工業(yè)區(qū)投資建設(shè)的集成電路材料合成實驗室正式啟用，這既是上海電子化學品專區(qū)加快打造自主創(chuàng)新平臺的重要組成部分，也是上海國際化工新材料創(chuàng)新中心重點引入的研發(fā)試驗機構(gòu)之一，成為上?；^(qū)加速創(chuàng)新驅(qū)動、促進產(chǎn)業(yè)鏈與創(chuàng)新鏈融合發(fā)展的又一重要里程碑。

2020年以來，上海化工區(qū)主動對接國家戰(zhàn)略和上海集成電路等先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，全力推進上海電子化學品專區(qū)建設(shè)，并以培育自主創(chuàng)新平臺為紐帶，助力促進科創(chuàng)建設(shè)協(xié)同發(fā)展，取得顯著成效。

管委會黨組書記、主任馬靜，管委會副主任侯金花，發(fā)展公司總經(jīng)理金健，中科院微系統(tǒng)所黨委書記俞躍輝，中科院微系統(tǒng)所副所長、集材院董事長兼總經(jīng)理俞文杰等出席揭幕儀式，并參觀現(xiàn)場和座談交流。

面向集成電路材料企業(yè)在性能測試與研發(fā)驗證等方面的共性訴求，集材院于2022年1月在電子化學品專區(qū)注冊成立全資子公司上海集材微電子材料技術(shù)有限公司，落戶上海國際化工新材料創(chuàng)新中心。注冊資本3000萬元，一期項目建設(shè)總投入1.5億元，總建筑面積近2100㎡。該平臺建成合成實驗室、放大實驗室、純化及罐裝實驗室、分析實驗室等專業(yè)實驗室，可開發(fā)化學合成技術(shù)、合成結(jié)構(gòu)精準可控的集成電路材料，探索放大工藝、制備公斤級集成電路材料，并開發(fā)原料純化技術(shù)、制備ppb、ppt級金雜含量的集成電路材料。分析實驗室可提供全面、系統(tǒng)性的集成電路材料測試表征分析，并將逐步建立起集成電路材料分析測試及操作規(guī)范的行業(yè)標準。同時，分析實驗室服務(wù)能力向?qū)^(qū)內(nèi)企業(yè)共享開放。

（集材院實驗室部分公共服務(wù)能力）